1. Élimination des particules de poussière dans une salle blanche sans poussière
La fonction principale de la salle blanche est de contrôler la propreté, la température et l'humidité de l'atmosphère auquel les produits (tels que les puces en silicium, etc.) sont exposés, afin que les produits puissent être produits et fabriqués dans un bon espace environnemental. Nous appelons cet espace comme une salle propre. Selon la pratique internationale, le niveau de propreté est principalement déterminé par le nombre de particules par mètre cube d'air avec un diamètre supérieur à la norme de classification. En d'autres termes, la soi-disant sans poussière n'est pas sans poussière à 100%, mais contrôlée dans une très petite unité. Bien sûr, les particules qui répondent à la norme de poussière dans cette norme sont déjà très petites par rapport à la poussière commune que nous voyons, mais pour les structures optiques, même un peu de poussière aura un très grand impact négatif, donc sans poussière est une exigence inévitable Dans la production de produits de structure optique.
Le contrôle du nombre de particules de poussière avec une taille de particules supérieure ou égale à 0,5 microns par mètre cube à moins de 3520 mètres cubes atteindra la classe A de la norme internationale sans poussière. La norme sans poussière utilisée dans la production et le traitement au niveau des puces a des exigences plus élevées pour la poussière que la classe A, et une norme aussi élevée est principalement utilisée dans la production de certaines puces de niveau supérieur. Le nombre de particules de poussière est strictement contrôlé à 35 200 par mètre cube, qui est communément appelé classe B dans l'industrie de la salle propre.
2. Trois types d'états de salle propre
Salle propre vide: une salle propre qui a été construite et peut être mise en service. Il a tous les services et fonctions pertinents. Cependant, il n'y a pas d'équipement exploité par les opérateurs de l'installation.
Salle propre statique: une installation de salle propre avec des fonctions complètes, des paramètres et une installation appropriés, qui peuvent être utilisés en fonction des paramètres ou sont utilisés, mais il n'y a pas d'opérateurs dans l'installation.
Salle propre dynamique: une salle propre en usage normal, avec des fonctions de service complètes, de l'équipement et du personnel; Si nécessaire, des travaux normaux peuvent être effectués.
3. Éléments de contrôle
(1). Peut éliminer les particules de poussière flottant dans l'air.
(2). Peut empêcher la génération de particules de poussière.
(3). Contrôle de la température et de l'humidité.
(4). Régulation de la pression.
(5). Élimination des gaz nocifs.
(6). Tremptère d'air des structures et des compartiments.
(7). Prévention de l'électricité statique.
(8). Prévention des interférences électromagnétiques.
(9). Considération des facteurs de sécurité.
(10). Considération de l'économie d'énergie.
4. Classification
Type de flux turbulent
L'air pénètre dans la salle propre de la boîte de climatisation à travers le conduit d'air et le filtre à air (HEPA) dans une salle propre, et est retourné des panneaux muraux de partition ou des sols surélevés des deux côtés de la salle blanche. Le flux d'air ne se déplace pas de manière linéaire mais présente un état de turbulent ou de tourbillon irrégulier. Ce type convient à la classe 1 000 à 100 000 salles blanches.
Définition: Une salle propre où le flux d'air coule à une vitesse inégale et n'est pas parallèle, accompagné d'un flux de retour ou d'un courant de tourbillon.
Principe: Les salles propres turbulentes reposent sur le flux d'air d'alimentation en air pour diluer en continu l'air intérieur et diluer progressivement l'air pollué pour atteindre la propreté (les salles propres turbulentes sont généralement conçues à des niveaux de propreté supérieurs à 1 000 à 300 000).
Caractéristiques: Les salles propres turbulentes dépendent de la ventilation multiple pour atteindre les niveaux de propreté et de propreté. Le nombre de changements de ventilation détermine le niveau de purification dans la définition (plus il y a de changements de ventilation, plus le niveau de propreté) est élevé)
(1) Temps d'auto-purification: fait référence au moment où la salle propre commence à fournir de l'air à la salle blanche en fonction du numéro de ventilation conçu et la concentration de poussière dans la pièce atteint le niveau de propreté conçu la classe 1000 Plus de 20 minutes (15 minutes peuvent être utilisées pour le calcul) La classe 10 000 devrait ne pas être plus de 30 minutes (25 minutes peuvent être utilisées pour le calcul) La classe 100 000 devrait ne pas être plus de 40 minutes (30 minutes peuvent être utilisées pour calcul)
(2) Fréquence de ventilation (conçue selon les exigences de temps d'auto-nettoyage ci-dessus) Classe 1000: 43.5-55.3 fois / heure (standard: 50 fois / heure) Classe 10 000: 23,8-28,6 fois / heure (standard: 25 fois / heure ) Classe 100 000: 14.4-19.2 fois / heure (standard: 15 fois / heure)
Avantages: Structure simple, coût de construction du système bas, salle propre facile à étendre, dans certains endroits à usage spécial, le banc propre sans poussière peut être utilisé pour améliorer la note de la salle propre.
Inconvénients: les particules de poussière causées par la turbulence flottent dans l'espace intérieur et sont difficiles à libérer, ce qui peut facilement contaminer les produits de processus. De plus, si le système est arrêté puis activé, il faut souvent beaucoup de temps pour atteindre la propreté requise.
Flux laminaire
L'air à débit laminaire se déplace en une ligne droite uniforme. L'air pénètre dans la pièce à travers un filtre avec un taux de couverture à 100% et est retourné dans le sol élevé ou les cartes de partition des deux côtés. Ce type convient à une utilisation dans des environnements de salle blanche avec des notes plus élevées, généralement de classe 1 à 100. Il existe deux types:
(1) Écoulement laminaire horizontal: L'air horizontal est emporté par le filtre en une seule direction et retourné par le système d'air de retour sur la paroi opposée. La poussière est déchargée à l'extérieur avec la direction de l'air. Généralement, la pollution est plus grave du côté en aval.
Avantages: structure simple, peut devenir stable en peu de temps après l'opération.
Inconvénients: le coût de la construction est plus élevé que le débit turbulent, et l'espace intérieur n'est pas facile à développer.
(2) Débit laminaire vertical: le plafond de la pièce est complètement recouvert de filtres ULPA, et l'air est soufflé de haut en bas, ce qui peut atteindre une propreté plus élevée. La poussière générée pendant le processus ou par le personnel peut être rapidement déchargée à l'extérieur sans affecter d'autres domaines de travail.
Avantages: un état facile à gérer et stable peut être réalisé dans un court laps de temps après le début de l'opération et n'est pas facilement affecté par l'état de fonctionnement ou les opérateurs.
Inconvénients: coût de construction élevé, difficile à utiliser de manière flexible, les cintres de plafond occupent beaucoup d'espace et gênant à réparer et à remplacer les filtres.
Type composite
Le type composite consiste à combiner ou à utiliser le type d'écoulement turbulent et le type de flux laminaire, qui peut fournir un air ultra-nettoyé local.
(1) Nettoyer le tunnel: utilisez des filtres HEPA ou ULPA pour couvrir 100% de la zone de processus ou de la zone de travail pour augmenter le niveau de propreté au-dessus de la classe 10, ce qui peut permettre d'économiser les coûts d'installation et d'exploitation.
Ce type nécessite que la zone de travail de l'opérateur soit isolée de la maintenance du produit et de la machine pour éviter d'affecter le travail et la qualité pendant la maintenance de la machine.
Les tunnels propres ont deux autres avantages: A. Facile à se développer de manière flexible; B. La maintenance des équipements peut être facilement effectuée dans la zone d'entretien.
(2) Nettoyer un tube: entourer et purifier la ligne de production automatique à travers laquelle le flux de produit passe et augmenter le niveau de propreté vers la classe 100. Parce que le produit, l'opérateur et l'environnement générateur de poussière sont isolés les uns des autres, une petite quantité de L'approvisionnement en air peut atteindre une bonne propreté, ce qui peut économiser de l'énergie et est le plus adapté aux lignes de production automatisées qui ne nécessitent pas de main-d'œuvre manuelle. Il s'applique aux industries pharmaceutiques, alimentaires et semi-conducteurs.
(3) point propre: le niveau de propreté de la zone du processus de produit dans la salle propre turbulente avec un niveau de salle propre de 10 000 ~ 100 000 est augmenté à 10 ~ 1000 ou plus à des fins de production; Des établissements propres, des hangars propres, des chambres propres préfabriquées et des armoires propres appartiennent à cette catégorie.
Banc propre: classe 1 à 100.
Booth propre: un petit espace entouré de tissu en plastique transparent antistatique dans un espace de salle propre turbulente, en utilisant des unités indépendantes HEPA ou ULPA et de climatisation pour devenir un espace propre de niveau supérieur, avec un niveau de 10 ~ 1000, une hauteur d'environ environ 2,5 mètres, et une zone de couverture d'environ 10 m2 ou moins. Il a quatre piliers et est équipé de roues mobiles pour une utilisation flexible.
5. Débit de flux d'air
Importance du flux d'air
La propreté d'une salle propre est souvent affectée par le débit d'air. En d'autres termes, le mouvement et la diffusion de la poussière générés par les personnes, les compartiments de la machine, les structures de construction, etc. sont contrôlés par le flux d'air.
La salle blanche utilise HEPA et ULPA pour filtrer l'air, et son taux de collecte de poussière est aussi élevé que 99,97 ~ 99,99995%, donc l'air filtré par ce filtre peut être considéré comme très propre. Cependant, en plus des gens, il existe également des sources de poussière telles que des machines dans la salle blanche. Une fois que ces poussières générées se sont propagées, il est impossible de maintenir un espace propre, de sorte que le flux d'air doit être utilisé pour décharger rapidement la poussière générée à l'extérieur.
Influencer les facteurs
Il existe de nombreux facteurs qui affectent le flux d'air d'une salle propre, comme l'équipement de processus, le personnel, les matériaux d'assemblage de la salle blanche, les luminaires, etc. En même temps, le point de diversion du débit d'air au-dessus de l'équipement de production doit également être pris en considération.
Le point de détournement du flux d'air à la surface d'une table de fonctionnement générale ou d'un équipement de production doit être réglé à 2/3 de la distance entre l'espace de la salle propre et la carte de partition. De cette façon, lorsque l'opérateur fonctionne, le flux d'air peut s'écouler de l'intérieur de la zone de processus à la zone d'exploitation et enlever la poussière; Si le point de détournement est configuré devant la zone de processus, il deviendra une mauvaise diversion du flux d'air. À l'heure actuelle, la majeure partie du flux d'air s'écoulera à l'arrière de la zone de processus, et la poussière causée par le fonctionnement de l'opérateur sera transportée à l'arrière de l'équipement, et le collition sera contaminé, et le rendement diminuera inévitablement.
Les obstacles tels que les tables de travail dans les chambres blanches auront des courants de Foucault à la jonction, et la propreté près d'eux sera relativement médiocre. Le forage d'un trou d'air de retour sur la table de travail minimisera le phénomène de courant de Foucault; La question de savoir si la sélection des matériaux d'assemblage est appropriée et si la disposition de l'équipement est parfaite sont également des facteurs importants pour savoir si le flux d'air devient un phénomène de courant de Foucault.
6. Composition d'une salle blanche
La composition de la salle blanche est composée des systèmes suivants (dont aucun n'est indispensable dans les molécules du système), sinon il ne sera pas possible de former une salle blanche complète et de haute qualité:
(1) Système de plafond: y compris la bielle au plafond, le faisceau en I ou le faisceau en U, la grille de plafond ou le cadre du plafond.
(2) Système de climatisation: y compris la cabine à air, le système de filtre, le moulin à vent, etc.
(3) Mur de partitionnel: y compris les fenêtres et les portes.
(4) Plancher: y compris un plancher élevé ou un plancher antistatique.
(5) Éclairage d'éclairage: lampe plate de purification LED.
La structure principale de la salle blanche est généralement faite de barres en acier ou de ciment osseux, mais quel que soit le type de structure, il doit répondre aux conditions suivantes:
A. Aucune fissure ne se produira en raison des changements de température et des vibrations;
B. Il n'est pas facile de produire des particules de poussière, et il est difficile pour les particules de se fixer;
C. faible hygroscopicité;
D. Afin de maintenir les conditions d'humidité dans une salle blanche, l'isolation thermique doit être élevée;
7. Classification par utilisation
Salle blanche industrielle
Le contrôle des particules inanimées est l'objet. Il contrôle principalement la pollution des particules de poussière d'air à l'objet de travail, et l'intérieur maintient généralement un état de pression positive. Il convient à l'industrie des machines de précision, à l'industrie de l'électronique (semi-conducteurs, circuits intégrés, etc.), à l'industrie aérospatiale, à l'industrie chimique de haute pureté, à l'industrie de l'énergie atomique, à l'industrie des produits optiques et magnétiques (CD, film, production de bande) LCD (Crystal Liquid Crystal (Crystal Liquid Crystal (Liquid Crystal Crystal Liquid Cristal verre), disque dur informatique, production de tête informatique et autres industries.
Salle blanche biologique
Contrôle principalement la pollution des particules vivantes (bactéries) et des particules inanimées (poussière) à l'objet de travail. Il peut être divisé en;
A. Salle propre biologique générale: contrôle principalement la pollution des objets microbiens (bactériens). Dans le même temps, ses matériaux internes doivent être capables de résister à l'érosion de divers agents de stérilisation, et l'intérieur garantit généralement une pression positive. Essentiellement, les matériaux internes doivent être capables de résister à divers traitements de stérilisation de la salle blanche industrielle. Exemples: industrie pharmaceutique, hôpitaux (salles d'opération, quartiers stériles), aliments, cosmétiques, production de produits de boisson, laboratoires d'animaux, laboratoires d'essais physiques et chimiques, stations sanguines, etc.
B. Biological Safety Clean Room: contrôle principalement la pollution des particules de vie de l'objet de travail vers le monde extérieur et les gens. La pression interne doit être maintenue négative avec l'atmosphère. Exemples: bactériologie, biologie, laboratoires propres, génie physique (gènes recombinants, préparation des vaccins)
Heure du poste: février-07-2025