La norme ISO 14644-5 exige que l'installation des équipements fixes dans les salles blanches soit conforme à la conception et à la fonction de ces salles. Les détails suivants seront présentés ci-dessous.
1. Méthode d'installation des équipements : La méthode idéale consiste à fermer la salle blanche pendant la période d'installation des équipements et à prévoir une porte permettant une vue dégagée sur les équipements ou à réserver un passage sur le panneau pour permettre le passage des nouveaux équipements et leur entrée dans la salle blanche afin d'éviter toute contamination de cette dernière pendant la période d'installation. Des mesures de protection doivent être prises pour garantir que la salle blanche réponde toujours aux exigences de propreté et que les travaux ultérieurs soient possibles.
2. Si les travaux en salle blanche ne peuvent être interrompus pendant chaque période d'installation, ou si des structures doivent être démontées, la salle blanche en fonctionnement doit être efficacement isolée de la zone de travail : des cloisons ou des murs d'isolation temporaires peuvent être utilisés. Afin de ne pas entraver les travaux d'installation, un espace suffisant doit être prévu autour de l'équipement. Si les conditions le permettent, l'accès à la zone d'isolation peut se faire par des gaines techniques ou d'autres zones non critiques ; si cela n'est pas possible, des mesures doivent être prises pour minimiser l'impact de la pollution causée par les travaux d'installation. La zone d'isolation doit maintenir une pression égale ou négative. L'alimentation en air propre doit être coupée dans la zone de grande hauteur afin d'éviter une surpression dans les salles blanches environnantes. Si l'accès à la zone d'isolation se fait uniquement par une salle blanche adjacente, des tapis antidérapants doivent être utilisés pour nettoyer les chaussures.
3. Après l'entrée dans la zone de haute altitude, le port de bottes ou de surchaussures jetables et d'une combinaison de travail est recommandé afin d'éviter toute contamination des vêtements propres. Ces articles jetables doivent être retirés avant de quitter la zone de quarantaine. Des méthodes de surveillance de la zone d'isolement pendant l'installation des équipements doivent être mises en place et leur fréquence déterminée afin de détecter toute contamination éventuelle de la salle blanche adjacente. Une fois les mesures d'isolement établies, les différents réseaux nécessaires (électricité, eau, gaz, vide, air comprimé et eaux usées) peuvent être installés. Il convient de veiller à contrôler et à isoler au maximum les fumées et les débris générés par l'opération afin d'éviter toute propagation accidentelle à la salle blanche environnante. Un nettoyage efficace doit également être effectué avant le retrait de la barrière d'isolement. Une fois les réseaux opérationnels, l'ensemble de la zone d'isolement doit être nettoyé et décontaminé conformément aux procédures de nettoyage prescrites. Toutes les surfaces, y compris les murs, les équipements (fixes et mobiles) et les sols, doivent être aspirées, essuyées et lavées, une attention particulière étant portée au nettoyage des zones situées derrière les protections des équipements et sous les équipements.
4. Un test préliminaire des performances de l'équipement peut être réalisé en fonction des conditions réelles de la salle blanche et de l'équipement installé. Toutefois, les tests de réception définitifs devront être effectués une fois les conditions de propreté de l'environnement pleinement réunies. En fonction des conditions sur le site d'installation, le démontage de la paroi d'isolation peut commencer avec précaution. Si l'alimentation en air pur a été coupée, il convient de la remettre en marche. Le moment de cette étape doit être soigneusement choisi afin de minimiser les perturbations du fonctionnement normal de la salle blanche. À ce stade, il peut être nécessaire de vérifier que la concentration de particules en suspension dans l'air est conforme aux exigences spécifiées.
5. Le nettoyage et la préparation de l'intérieur de l'équipement et des chambres de traitement principales doivent être effectués dans des conditions normales de salle blanche. Toutes les chambres internes et toutes les surfaces entrant en contact avec le produit ou impliquées dans son transport doivent être essuyées jusqu'au niveau de propreté requis. Le nettoyage de l'équipement doit s'effectuer de haut en bas. Si les particules sont dispersées, les plus grosses tomberont au fond de l'équipement ou au sol par gravité. Nettoyez la surface extérieure de l'équipement de haut en bas. Si nécessaire, une détection des particules en surface doit être effectuée dans les zones où les exigences relatives au produit ou au processus de production sont critiques.
6. Compte tenu des caractéristiques des salles blanches, notamment leur grande superficie, les investissements importants, la forte productivité et les exigences de propreté très strictes des salles blanches de haute technologie, l'installation des équipements de production dans ce type d'usine est plus similaire à celle des salles blanches classiques. À cette fin, la norme nationale « Code pour la construction et la réception de la qualité des usines blanches », publiée en 2015, a prévu certaines dispositions pour l'installation des équipements de production dans les usines blanches, notamment les suivantes.
①. Afin d'éviter toute contamination, voire tout dommage, à la salle blanche qui a subi une réception « vide » lors du processus d'installation des équipements de production, le processus d'installation de l'équipement ne doit pas comporter de vibrations ou d'inclinaisons excessives, et ne doit pas diviser ni contaminer les surfaces de l'équipement.
2. Afin de garantir une installation ordonnée des équipements de production en salle blanche, avec un minimum d'attente, et de respecter le système de gestion de la production en salle blanche, il convient de s'assurer que le processus d'installation est conforme aux normes relatives aux produits finis et semi-finis acceptés à l'état vide. Les matériaux, machines, etc. utilisés lors de l'installation ne doivent pas émettre ni produire (même en fonctionnement normal et prolongé en salle blanche) de polluants susceptibles de nuire aux produits. Seuls des matériaux propres, exempts de poussière, de rouille et de graisse, et ne produisant pas de poussière lors de leur utilisation, doivent être employés.
③ Les surfaces décoratives de la salle blanche doivent être protégées par des plaques, films ou autres matériaux propres et exempts de poussière. Les plaques de support des équipements doivent être réalisées conformément aux spécifications techniques. À défaut, des plaques en acier inoxydable ou en plastique peuvent être utilisées. Les profilés en acier au carbone utilisés pour les fondations indépendantes et les armatures de plancher doivent être traités anticorrosion et leur surface doit être plane et lisse. Un mastic élastique doit être utilisé pour le calfeutrage.
④ Les matériaux doivent être étiquetés avec leurs ingrédients, leurs variétés, leur date de fabrication, leur durée de conservation, les instructions de mise en œuvre et les certificats de qualification du produit. Les machines et outils utilisés en salle blanche ne doivent pas être déplacés vers des zones non propres. Il est également interdit de les déplacer vers la salle blanche. Pour les machines et outils utilisés en zone propre, il convient de s'assurer que les parties exposées ne produisent pas de poussière ou de prendre des mesures pour éviter toute pollution de l'environnement par la poussière. Les machines et outils fréquemment utilisés doivent être nettoyés dans le sas avant d'être déplacés vers la zone propre. Ils doivent être exempts d'huile, de saleté, de poussière et de rouille, et ne peuvent être déplacés qu'après inspection et apposition d'un panneau « Propre » ou « Zone propre uniquement ».
⑤. Les équipements de production en salle blanche doivent être installés sur des planchers techniques spécifiques, tels que des planchers surélevés. Leurs fondations doivent généralement reposer sur la mezzanine technique inférieure ou sur une dalle de béton poreuse. Lors des opérations de démontage nécessaires à l'installation de ces fondations, la structure du plancher, après découpe à la scie électrique portative, doit être renforcée afin que sa capacité portante soit au moins égale à sa capacité portante initiale. Si une fondation indépendante à ossature métallique est utilisée, celle-ci doit être en acier galvanisé ou inoxydable, et sa surface exposée doit être plane et lisse.
⑥. Lors de l'installation d'équipements de production en salle blanche nécessitant le perçage de panneaux muraux, de faux plafonds et de planchers techniques, les opérations de perçage ne doivent ni endommager ni contaminer les surfaces des panneaux muraux et des faux plafonds à conserver. Après le perçage d'un plancher technique, si les fondations ne peuvent être installées immédiatement, des garde-corps et une signalétique de sécurité doivent être mis en place. Une fois les équipements de production installés, les joints autour des trous doivent être étanches. Le contact entre les équipements et les joints doit être souple et la liaison entre les joints et les panneaux muraux doit être étanche et solide. La surface d'étanchéité d'un côté de la salle de travail doit être plane et lisse.
Date de publication : 6 septembre 2023