L'ISO 14644-5 exige que l'installation d'équipements fixes dans les salles blanches soit basée sur la conception et la fonction de la salle blanche. Les détails suivants seront introduits ci-dessous.
1. Méthode d'installation de l'équipement : la méthode idéale consiste à fermer la salle blanche pendant la période d'installation de l'équipement et à disposer d'une porte qui peut correspondre à l'angle de vision de l'équipement ou réserver un canal sur la carte pour permettre au nouvel équipement de passer et d'entrer propre. Afin d'éviter que la salle blanche proche de la période d'installation ne soit contaminée, des mesures de protection doivent être prises pour garantir que la salle blanche répond toujours à ses exigences de propreté et aux travaux ultérieurs requis.
2. Si le travail en salle blanche ne peut être arrêté à chaque période d'installation, ou s'il y a des structures qui doivent être démontées, la salle blanche en fonctionnement doit être efficacement isolée de la zone de travail : des murs ou cloisons d'isolation temporaires peuvent être utilisés. Afin de ne pas gêner les travaux d'installation, il doit y avoir suffisamment d'espace autour de l'équipement. Si les conditions le permettent, l'accès à la zone d'isolement peut se faire par des voies de service ou d'autres zones non critiques : si cela n'est pas possible, des mesures doivent être prises pour minimiser l'impact de la pollution provoquée par les travaux d'installation. La zone d'isolement doit maintenir une pression égale ou une pression négative. L'alimentation en air pur doit être coupée dans les zones de grande hauteur pour éviter une pression positive sur les salles blanches environnantes. Si l’accès à la zone d’isolement se fait uniquement par une salle blanche adjacente, des tampons collants doivent être utilisés pour éliminer la saleté des chaussures.
3. Après avoir pénétré dans la zone de haute altitude, des bottes ou surchaussures jetables et des vêtements de travail d'une seule pièce peuvent être utilisés pour éviter de contaminer les vêtements propres. Ces articles jetables doivent être retirés avant de quitter la zone de quarantaine. Des méthodes de surveillance de la zone autour de la zone d'isolement pendant le processus d'installation de l'équipement doivent être développées et la fréquence de surveillance doit être déterminée pour garantir que toute contamination susceptible de s'infiltrer dans la salle blanche adjacente est détectée. Une fois les mesures d'isolement mises en place, diverses installations de service public nécessaires, telles que des conduites d'électricité, d'eau, de gaz, de vide, d'air comprimé et d'eaux usées, peuvent être installées. Il convient de veiller autant que possible à contrôler et à isoler la fumée et les débris générés par l'opération afin d'éviter toute propagation accidentelle dans la salle blanche environnante. Cela devrait également faciliter un nettoyage efficace avant de retirer la barrière d’isolation. Une fois que les installations de service public répondent aux exigences d'utilisation, toute la zone d'isolement doit être nettoyée et décontaminée conformément aux procédures de nettoyage prescrites. Toutes les surfaces, y compris tous les murs, équipements (fixes et mobiles) et sols, doivent être aspirées, essuyées et nettoyées, une attention particulière étant accordée aux zones de nettoyage situées derrière les protections de l'équipement et sous l'équipement.
4. Un test préliminaire des performances de l'équipement peut être effectué sur la base des conditions réelles de la salle blanche et de l'équipement installé, mais des tests d'acceptation ultérieurs doivent être effectués lorsque les conditions d'environnement propre sont entièrement remplies. En fonction des conditions sur le lieu d'installation, vous pouvez commencer à démonter soigneusement le mur d'isolation ; si l'alimentation en air propre a été coupée, redémarrez-la ; le moment de cette étape des travaux doit être soigneusement choisi afin de minimiser les interférences avec le travail normal de la salle blanche. À ce stade, il peut être nécessaire de mesurer si la concentration de particules en suspension dans l’air répond aux exigences spécifiées.
5. Le nettoyage et la préparation de l'intérieur de l'équipement et des chambres de traitement clés doivent être effectués dans des conditions normales de salle blanche. Toutes les chambres internes et toutes les surfaces qui entrent en contact avec le produit ou participent au transport du produit doivent être essuyées jusqu'au niveau de propreté requis. La séquence de nettoyage de l'équipement doit se faire de haut en bas. Si des particules se propagent, les plus grosses particules tomberont au bas de l'équipement ou sur le sol en raison de la gravité. Nettoyez la surface extérieure de l'équipement de haut en bas. Si nécessaire, la détection des particules de surface doit être effectuée dans les zones où les exigences du produit ou du processus de production sont critiques.
6. Compte tenu des caractéristiques des salles blanches, en particulier de la grande surface, des investissements élevés, du rendement élevé et des exigences de propreté très strictes des salles blanches de haute technologie, l'installation d'équipements de processus de production dans ce type d'usine propre est plus similaire à celle des salles blanches ordinaires. À cette fin, la norme nationale « Code pour la construction d'usines propres et l'acceptation de la qualité » publiée en 2015 prévoyait certaines dispositions pour l'installation d'équipements de processus de production dans les usines propres, notamment les suivantes.
①. Afin d'éviter toute contamination ou même tout dommage à la salle blanche qui a subi une acceptation « vide » pendant le processus d'installation des équipements de processus de production, le processus d'installation de l'équipement ne doit pas présenter de vibrations ou d'inclinaison excessives, et ne doit pas être divisé et contaminer l'équipement. surfaces.
②. Afin de rendre l'installation des équipements de processus de production dans la salle blanche ordonnée et sans ou avec moins de repos, et de suivre le système de gestion de production propre dans un atelier propre, assurez-vous que le processus d'installation de l'équipement de production est protégé conformément aux différents " "produits finis" et "produits semi-finis" acceptés "à l'état vide", les matériaux, machines, etc. qui doivent être utilisés dans le processus d'installation ne doivent pas émettre ou peuvent produire (y compris dans le fonctionnement normal de la salle blanche pendant une longue période temps) des polluants nocifs pour les produits fabriqués. Il convient d'utiliser des matériaux propres, sans poussière, sans rouille, sans graisse et ne produisant pas de poussière pendant l'utilisation.
③. La surface de décoration du bâtiment de la salle blanche doit être protégée avec des plaques, des films et d'autres matériaux propres et sans poussière ; la plaque de support de l'équipement doit être réalisée conformément aux exigences du document technique de conception ou de l'équipement. S'il n'y a aucune exigence, des plaques en acier inoxydable ou des plaques en plastique doivent être utilisées. Les profilés en acier au carbone utilisés pour les fondations indépendantes et les renforts de sol doivent être traités anticorrosion et la surface doit être plane et lisse ; matériaux d'étanchéité élastiques utilisés pour le calfeutrage.
④. Les matériaux doivent être marqués avec les ingrédients, les variétés, la date de fabrication, la période de validité de stockage, les instructions de méthode de construction et les certificats de qualification du produit. Les machines et outils utilisés dans les salles blanches ne doivent pas être déplacés vers des salles non propres pour être utilisés. Les machines et outils ne doivent pas être déplacés vers la salle blanche pour être utilisés. Les machines et outils utilisés dans la zone propre doivent garantir que les parties exposées de la machine ne produisent pas de poussière ou prendre des mesures pour empêcher la poussière de polluer l'environnement. Les machines et outils couramment utilisés doivent être nettoyés dans le sas avant d’être déplacés vers la zone propre. , doit répondre aux exigences d'être sans huile, sans saleté, sans poussière et sans rouille, et doit être déplacé après avoir réussi l'inspection et apposé un panneau « Propre » ou « Zone propre uniquement ».
⑤. Les équipements du processus de production dans la salle blanche doivent être installés sur des « sols spécifiques » tels que des planchers surélevés. Les fondations des équipements doivent généralement être posées sur la mezzanine technique inférieure ou sur la plaque poreuse en ciment ; les activités qui doivent être démontées pour installer les fondations. La structure du sol après avoir été découpée avec une scie électrique portative doit être renforcée et sa capacité portante ne doit pas être inférieure à la capacité portante d'origine. Lorsqu'une fondation indépendante d'une structure à ossature d'acier est utilisée, elle doit être en matériau galvanisé ou en acier inoxydable et la surface exposée doit être plate et lisse.
⑥. Lorsque le processus d'installation des équipements de processus de production en salle blanche nécessite l'ouverture de trous dans les panneaux muraux, les plafonds suspendus et les planchers surélevés, les opérations de perçage ne doivent pas diviser ou contaminer les surfaces des panneaux muraux et des panneaux de plafond suspendu qui doivent être conservées. Après l'ouverture du faux-plancher, lorsque la fondation ne peut pas être installée à temps, des garde-corps de sécurité et des panneaux de danger doivent être installés ; une fois l'équipement de production installé, l'espace autour du trou doit être scellé, et l'équipement et les composants d'étanchéité doivent être en contact flexible, et la connexion entre le composant d'étanchéité et la plaque murale doit être étanche et ferme ; la surface d'étanchéité d'un côté de la salle de travail doit être plate et lisse.
Heure de publication : 06 septembre 2023