Outre un contrôle rigoureux des particules, les salles blanches électroniques, telles que les ateliers de production de puces, les ateliers de fabrication de circuits intégrés sans poussière et les ateliers de fabrication de disques, sont soumises à des exigences encore plus strictes en matière de contrôle de la température et de l'humidité, d'éclairage et de micro-chocs. L'impact de l'électricité statique sur les produits est strictement éliminé afin de garantir un environnement propre, conforme aux exigences du processus de fabrication des produits électroniques.
La température et l'humidité d'une salle blanche électronique doivent être déterminées en fonction des exigences du processus de production. En l'absence d'exigences spécifiques, la température peut être comprise entre 20 et 26 °C et l'humidité relative entre 30 et 70 %. La température des locaux réservés au personnel et des espaces de vie peut être maintenue entre 16 et 28 °C. Conformément à la norme nationale chinoise GB-50073, elle-même conforme aux normes internationales ISO, le niveau de propreté de ce type de salle blanche est classé de 1 à 9. Les classes 1 à 5 présentent un flux d'air unidirectionnel ou mixte ; la classe 6, un flux d'air non unidirectionnel avec un taux de renouvellement d'air de 50 à 60 fois par heure ; la classe 7, un flux d'air non unidirectionnel avec un taux de renouvellement d'air de 15 à 25 fois par heure ; et les classes 8 et 9, un flux d'air non unidirectionnel avec un taux de renouvellement d'air de 10 à 15 fois par heure.
Selon les spécifications actuelles, le niveau de bruit dans une salle blanche électronique de classe 10 000 ne doit pas dépasser 65 dB(A).
1. Le taux de remplissage de la salle blanche à flux vertical dans une salle blanche électronique ne doit pas être inférieur à 60 %, et celui de la salle blanche à flux unidirectionnel horizontal ne doit pas être inférieur à 40 %, sinon il s'agira d'un flux unidirectionnel partiel.
2. La différence de pression statique entre la salle blanche électronique et l'extérieur ne doit pas être inférieure à 10 Pa, et la différence de pression statique entre les zones propres et les zones non propres avec différents niveaux de propreté de l'air ne doit pas être inférieure à 5 Pa.
3. La quantité d'air frais dans une salle blanche électronique de classe 10000 doit prendre la valeur des deux éléments suivants.
4. Compenser la somme du volume d'air extrait de l'intérieur et du volume d'air frais nécessaire pour maintenir la valeur de pression positive intérieure.
5. S'assurer que la quantité d'air frais fournie à la salle blanche par personne et par heure n'est pas inférieure à 40 mètres carrés.
Date de publication : 8 avril 2024