Outre un contrôle strict des particules, les salles blanches électroniques, notamment les ateliers de production de puces, les ateliers de dépoussiérage de circuits intégrés et les ateliers de fabrication de disques, imposent des exigences plus strictes en matière de contrôle de la température et de l'humidité, d'éclairage et de protection contre les microchocs. L'impact de l'électricité statique sur les produits est strictement limité, afin que l'environnement puisse répondre aux exigences du processus de production de produits électroniques dans un environnement propre.
La température et l'humidité de la salle blanche électronique doivent être déterminées en fonction des exigences du processus de production. En l'absence d'exigences spécifiques, la température peut être comprise entre 20 et 26 °C et l'humidité relative entre 30 et 70 %. La température de la salle blanche du personnel et du salon peut être comprise entre 16 et 28 °C. Selon la norme nationale chinoise GB-50073, conforme aux normes internationales ISO, le niveau de propreté de ce type de salle blanche est compris entre 1 et 9. Parmi ces niveaux, on trouve les classes 1 à 5, avec un flux d'air unidirectionnel ou mixte ; la classe 6, avec un flux d'air non unidirectionnel et un renouvellement d'air de 50 à 60 fois par heure ; la classe 7, avec un flux d'air non unidirectionnel et un renouvellement d'air de 15 à 25 fois par heure ; et les classes 8 à 9, avec un flux d'air non unidirectionnel et un renouvellement d'air de 10 à 15 fois par heure.
Selon les spécifications actuelles, le niveau de bruit dans une salle blanche électronique de classe 10 000 ne doit pas dépasser 65 dB(A).
1. Le rapport complet de la salle blanche à flux vertical dans la salle blanche électronique ne doit pas être inférieur à 60 % et le rapport complet de la salle blanche à flux unidirectionnel horizontal ne doit pas être inférieur à 40 %, sinon il s'agira d'un flux unidirectionnel partiel.
2. La différence de pression statique entre la salle blanche électronique et l'extérieur ne doit pas être inférieure à 10 Pa, et la différence de pression statique entre les zones propres et les zones non propres avec une propreté de l'air différente ne doit pas être inférieure à 5 Pa.
3. La quantité d'air frais dans une salle blanche électronique de classe 10 000 doit prendre la valeur des deux éléments suivants.
4. Compensez la somme du volume d'air extrait intérieur et du volume d'air frais nécessaire pour maintenir la valeur de pression positive intérieure.
5. Assurez-vous que la quantité d'air frais fournie à la salle blanche par personne et par heure n'est pas inférieure à 40 mètres carrés.
Date de publication : 08/04/2024