Les dispositifs de protection incendie constituent un élément essentiel des salles blanches. Leur importance tient non seulement au coût élevé des équipements et des travaux de construction, mais aussi au fait que les salles blanches sont des bâtiments relativement clos, parfois même des ateliers sans fenêtres. Les allées étroites et sinueuses des salles blanches rendent l'évacuation du personnel et la lutte contre l'incendie difficiles. Afin de garantir la sécurité des personnes et des biens, la politique de prévention incendie « prévention d'abord, combinant prévention et lutte contre l'incendie » doit être mise en œuvre dès la conception. Outre la mise en place de mesures efficaces de prévention des incendies lors de la conception de la salle blanche, les équipements de lutte contre l'incendie nécessaires doivent également être installés. Les caractéristiques de production des salles blanches sont les suivantes :
(1) De nombreux équipements et instruments de précision sont utilisés, ainsi qu'une variété de gaz et de liquides inflammables, explosifs, corrosifs et toxiques. Le risque d'incendie de certaines étapes de production relève de la catégorie C (comme la diffusion par oxydation, la photolithographie, l'implantation ionique, l'impression et le conditionnement, etc.), et celui d'autres étapes relève de la catégorie A (comme l'étirage de monocristaux, l'épitaxie, le dépôt chimique en phase vapeur, etc.).
(2) La salle blanche est extrêmement étanche. En cas d'incendie, il sera difficile d'évacuer le personnel et d'éteindre le feu.
(3) Le coût de construction d'une salle blanche est élevé et les équipements et instruments sont onéreux. En cas d'incendie, les pertes économiques seraient considérables.
Compte tenu de ces caractéristiques, les salles blanches présentent des exigences très élevées en matière de protection incendie. Outre le système de protection incendie et d'alimentation en eau, des dispositifs fixes d'extinction d'incendie doivent également être installés. Il convient notamment d'identifier avec soin les équipements et instruments de valeur présents dans la salle blanche.
Date de publication : 11 avril 2024