Le rendement en puce dans l'industrie de la fabrication de puces est étroitement lié à la taille et au nombre de particules d'air déposées sur la puce. Une bonne organisation de débit d'air peut prendre des particules générées à partir de sources de poussière dans une salle blanche et assurer la propreté de la salle blanche. C'est-à-dire que l'organisation du flux d'air en salle blanche joue un rôle vital dans le rendement de la production de puces. Les objectifs à atteindre dans la conception de l'organisation de débit d'air de la salle propre sont: réduire ou éliminer les courants de Foucault dans le champ d'écoulement pour éviter la rétention de particules nocives; pour maintenir un gradient de pression positif approprié pour éviter la contamination croisée.
Selon le principe de la salle blanche, les forces agissant sur les particules comprennent la force de masse, la force moléculaire, l'attraction entre les particules, la force d'écoulement d'air, etc.
Force du flux d'air: fait référence à la force du flux d'air causée par l'alimentation et le flux d'air de retour, le flux d'air de convection thermique, l'agitation artificielle et d'autres débits d'air avec un certain débit pour transporter des particules. Pour le contrôle de la technologie environnementale des pièces propres, la force de débit d'air est le facteur le plus important.
Des expériences ont montré que dans le mouvement du flux d'air, les particules suivent le flux d'air à presque exactement la même vitesse. La condition des particules dans l'air est déterminée par la distribution du flux d'air. Les principaux effets du flux d'air sur les particules intérieurs comprennent: le flux d'air d'alimentation à air (y compris le débit d'air primaire et le flux d'air secondaire), le flux d'air et le flux d'air de convection thermique causé par les personnes marchant et l'impact du flux d'air sur les particules causées par les opérations de processus et les équipements industriels. Différentes méthodes d'alimentation aérienne, interfaces de vitesse, opérateurs et équipements industriels, phénomènes induits, etc. dans des salles blanches sont tous des facteurs qui affectent le niveau de propreté.
1. Influence de la méthode d'alimentation aérienne
(1) vitesse d'alimentation de l'air
Afin d'assurer un débit d'air uniforme, la vitesse d'alimentation de l'air dans la salle propre à débit unidirectionnelle doit être uniforme; La zone morte sur la surface de l'alimentation a été petite; et la chute de pression dans le filtre HEPA doit également être uniforme.
La vitesse d'alimentation de l'air est uniforme: c'est-à-dire que l'inégalité du débit d'air est contrôlée à ± 20%.
Il y a moins d'espace mort sur la surface de l'alimentation de l'air: non seulement la zone plane du cadre HEPA doit être réduite, mais plus important encore, la FFU modulaire doit être utilisée pour simplifier le cadre redondant.
Afin de s'assurer que le débit d'air est vertical et unidirectionnel, la sélection de la chute de pression du filtre est également très importante, et il est nécessaire que la perte de pression dans le filtre ne puisse pas être biaisée.
(2) Comparaison entre le système FFU et le système de ventilateur de flux axial
FFU est une unité d'alimentation aérienne avec un ventilateur et un filtre HEPA. L'air est aspiré par le ventilateur centrifuge de la FFU et convertit la pression dynamique en pression statique dans le conduit d'air. Il est explosé uniformément par le filtre HEPA. La pression d'alimentation à l'air au plafond est une pression négative. De cette façon, aucune poussière ne fuira dans une salle propre lors du remplacement du filtre. Des expériences ont montré que le système FFU est supérieur au système de ventilateur de flux axial en termes d'uniformité de la sortie d'air, de parallélisme du flux d'air et d'indice d'efficacité de ventilation. En effet, le parallélisme du flux d'air du système FFU est meilleur. L'utilisation du système FFU peut améliorer l'organisation du débit d'air dans une salle blanche.
(3) Influence de la propre structure de FFU
FFU est principalement composé de ventilateurs, de filtres, de guides de flux d'air et d'autres composants. Le filtre HEPA est la garantie la plus importante pour une salle blanche pour réaliser la propreté requise requise par la conception. Le matériau du filtre affectera également l'uniformité du champ d'écoulement. Lorsqu'un matériau de filtre rugueux ou une plaque d'écoulement est ajouté à la sortie du filtre, le champ d'écoulement de sortie peut être facilement fait uniforme.
2. Impact de l'interface de vitesse avec la propreté différente
Dans la même salle blanche, entre la zone de travail et la zone de non-travail avec un flux unidirectionnel vertical, en raison de la différence de vitesse de l'air au niveau de la boîte HEPA, un effet de vortex mixte se produira à l'interface, et cette interface deviendra une turbulente Zone de flux d'air. L'intensité des turbulences d'air est particulièrement forte et les particules peuvent être transmises à la surface de la machine de l'équipement et contaminer l'équipement et les plaquettes.
3. Impact sur le personnel et l'équipement
Lorsque la chambre propre est vide, les caractéristiques du débit d'air dans la pièce répondent généralement aux exigences de conception. Une fois que l'équipement entre dans la salle blanche, les gens se déplacent et que les produits sont transportés, il y a inévitablement des obstacles à l'organisation du flux d'air, comme des points forts qui dépassent la machine de l'équipement. Aux coins ou bords, le gaz se détournera vers une zone d'écoulement turbulente, et le liquide dans la zone ne sera pas facilement emporté par le gaz entrant, provoquant ainsi la pollution.
Dans le même temps, la surface de l'équipement mécanique sera chauffée en raison du fonctionnement continu, et le gradient de température provoquera une zone de reflux près de la machine, ce qui augmente l'accumulation de particules dans la zone de reflux. Dans le même temps, la température élevée entraînera facilement la fuite des particules. L'effet double intensifie la couche verticale globale. La difficulté de contrôler la propreté des cours d'eau. La poussière des opérateurs dans une salle blanche peut facilement adhérer aux plaquettes dans ces zones de reflux.
4. Influence du fond aérien de retour
Lorsque la résistance de l'air de retour traversant le sol est différente, la différence de pression se produira, ce qui fait que l'air s'écoule dans le sens d'une petite résistance et un débit d'air uniforme ne sera pas obtenu. La méthode de conception populaire actuelle consiste à utiliser un sol élevé. Lorsque le rapport d'ouverture du plancher élevé est à 10%, la vitesse du débit d'air peut être répartie uniformément à la hauteur de travail intérieure. De plus, une attention stricte devrait être accordée au nettoyage des travaux pour réduire la source de pollution sur le sol.
5. Phénomène d'induction
Le soi-disant phénomène d'induction se réfère au phénomène de génération du débit d'air dans la direction opposée à l'écoulement uniforme, induisant la poussière générée dans la pièce ou la poussière dans les zones contaminées adjacentes du côté au vent, provoquant ainsi la poussière pour contaminer la tranche. Les phénomènes induits possibles comprennent les éléments suivants:
(1) plaque aveugle
Dans une salle propre avec un débit vertical à sens unique, en raison des articulations du mur, il y a généralement de grands panneaux aveugles qui produiront un débit turbulent et un reflux local.
(2) lampes
Les luminaires dans une salle blanche auront un impact plus important. Étant donné que la chaleur de la lampe fluorescente provoque une augmentation du flux d'air, la lampe fluorescente ne deviendra pas une zone turbulente. Généralement, les lampes dans une salle blanche sont conçues en forme de larme pour réduire l'impact des lampes sur l'organisation du flux d'air.
(3) les lacunes entre les murs
Lorsqu'il y a des lacunes entre les murs de partition ou les plafonds avec des exigences de propreté différentes, la poussière provenant des zones avec des exigences de propreté faible peut être transférée dans des zones adjacentes avec des exigences de propreté élevée.
(4) la distance entre l'équipement mécanique et le sol ou le mur
Si l'écart entre l'équipement mécanique et le sol ou le mur est petit, des turbulences de rebond se produiront. Par conséquent, laissez un écart entre l'équipement et le mur et augmentez la plate-forme de la machine pour éviter le contact direct avec le sol.
Heure du poste: nov-02-2023